潔凈等級
1963年,美國潔凈室標準FED-STD-209中,按每立方英尺中≥0.5mm粉塵數(shù)量的*允許濃度,將潔凈室分成若干等級,如100級、10,000級、100,000級。世界上許多國家都加以效仿。
1999年,國際標準化組織ISO頒布了一項國際標準《ISO14644-1潔凈室與受控潔凈環(huán)境》*部分:空氣潔凈度分級。標準中采用了新的分級。
2001年,中國新頒布的潔凈室設(shè)計標準中采用了ISO分級。
電子工業(yè)和制藥業(yè)是與潔凈室關(guān)系*密切的兩個行業(yè)。ISO標準一出現(xiàn),電子行業(yè)立刻改用ISO標準定義的潔凈室級別,而制藥業(yè)目前仍沿用老的潔凈級別規(guī)定。中國1998年版GMP規(guī)范中比前一版增加了個30萬級。