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有關(guān)高效過濾器DOP測量用氣溶膠問題探討

時(shí)間:2019-12-27 03:29:53

信息摘要:

DOP用于HEPA過濾器效率測量,已有近40年歷史,近幾年來懷疑其所含環(huán)苯是致癌物質(zhì),現(xiàn)改用DOS DEHS(常用于單分散的)。這些物質(zhì)對IC及盤片驅(qū)動(dòng)器生產(chǎn)早已認(rèn)為對產(chǎn)品有害,因此現(xiàn)常用聚

DOP用于HEPA過濾器效率測量,已有近40年歷史,近幾年來懷疑其所含環(huán)苯是致癌物質(zhì),現(xiàn)改用DOS DEHS(常用于單分散的)。這些物質(zhì)對IC及盤片驅(qū)動(dòng)器生產(chǎn)早已認(rèn)為對產(chǎn)品有害,因此現(xiàn)常用聚苯乙烯乳膠球(SPLs),粒徑在0.1~1μm的單分散系,可方便進(jìn)行控制。但有研究認(rèn)為用DOP測試過過濾器釋放出的DOP量與大氣中含有的DOP量相差不明顯。

  DOP等用壓縮空氣把溶液中的液體通過Laskin噴管霧化成多分散系DOP等,粒徑在0.1~lμm,t>0.35μm的占90%以上。單分散系DOP,現(xiàn)常用DEHS,加熱至一定溫度其溶液蒸發(fā)然后冷卻之,控制冷卻溫度以控制粒徑。采用多分散的DOP測得的過濾器效率要比用單分散的為高,其間現(xiàn)尚無轉(zhuǎn)換關(guān)系可循。

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